Izkliedēšanas ultraskaņas sprauslas ieviešana
Izkliedēšanas sprauslas izmanto zema spiediena gaisu/gāzi, lai iegūtu vienveidīgus, platus smidzināšanas modeļus, un katra sprausla, kas spēj sasniegt līdz 9,8 collas (25 centimetrus), atkarībā no attāluma no pamatnes. Gaisa plūsmas ātrumu var kontrolēt, lai atomizēta aerosola zema vai augsta ietekme uz produktu vai substrātu varētu zemu vai augstu ietekmi. Vairākas virknes savienotas sprauslas var sasniegt bezgalīgu platumu. Izkliedēšanas sprauslu dizains tiek izmantots ļoti atkārtojamiem plašiem modeļiem tievās sprauslās.
Izkliedes tipa ultraskaņas sprausla ir ultraskaņas atomizējoša sprausla ar ciklona konusa aerosolu. Tas izmanto ultraskaņas atomizācijas sprauslu tehnoloģiju, un, izmantojot īpašo virpuļplūsmas plūsmas kanāla dizainu, nesējgāze tiek pārveidota par vienotu rotējošu gaisa plūsmu, lai šķidruma miglas ultraskaņas atomizācija tiktu izkliedēta ciklona aerosola formā, paplašinot aerosolu atomizatora laukums. Ultraskaņas sprauslas var izsmidzināt arī uz vertikālām vai izliektām virsmām un citām leņķiskiem substrātiem.
Parasti izkliedējošo ultraskaņas sprauslu pielietojums ir fotorezistiska pārklājums uz pusvadītāju mikroshēmām, kur fotorezistam tiek izsmidzināts uz pusvadītāju mikroshēmām. Sakarā ar miglas rotācijas izkliedi, ko izstaro izkliedes tipa ultraskaņas sprausla, vienveidīgu fotorezistiska plēvi var veidot ne tikai vafeļu plaknē, bet arī uz sāniem un vafeles mikrostruktūras stūriem. Turklāt izkliedes tipa ultraskaņas sprauslu var izmantot arī plāniem plēves saules bateriju pārklājumiem, kalcija titanāta saules šūnu pārklājumiem, AR transmisijas un refleksijas plēves pārklājumiem, termiskās izolācijas plēves pārklājumiem, superhidrofobiskiem pārklājumiem, PCB plūsmas pārklājumiem un citiem pielietojumiem.
Princips:
Ultraskaņas sprauslas pārveido augstfrekvences skaņas viļņus mehāniskajā enerģijā caur pjezoelektriskiem devējiem un pēc tam pārveidojiet mehānisko enerģiju šķidrumā. Šī gareniskā augšup un lejupejošā vibrācija rada stāvošus viļņus šķidruma plēvē ultraskaņas sprauslas galā, kur šo viļņu amplitūdu var kontrolēt enerģijas ģenerators. Šie stacionārie šķidrie viļņi var stiepties uz augšu no ultraskaņas sprauslas augšdaļas, un, kad pilieni atstāj sprauslas atomizācijas virsmu, tie tiek sadalīti vienveidīgā smalkā mikrometra lieluma pilienu miglā.
Atšķirībā no spiediena sprauslām, ultraskaņas sprauslas neizmanto augstu spiedienu, lai piespiestu šķidrumu caur nelielu caurumu, lai iegūtu aerosolu. Šķidrums nonāk caur salīdzinoši lielu sprauslas centru bez spiediena un tiek atomizēts ar ultraskaņas vibrāciju sprauslas iekšpusē.
Katra ultraskaņas sprausla darbojas noteiktā rezonanses frekvencē, kas nosaka pilienu vidējo lielumu. Pilienu lieluma atšķirība ir ļoti maza, un tā sadalījumu var precīzi paredzēt noteiktā diapazonā, izmantojot matemātiskos aprēķinus. Piemēram, 120 kHz sprausla, izsmidzinot ūdeni, rada vidējo piliena izmēru 18 mikroni. Jo augstāks frekvence, jo mazāks ir vidējās vērtības samazināšanās.
Priekšrocība:
1. Liela virsmas izsmidzināšana, izsmidzināšanas platums: 40-150 mm
2. Coating uniformity:>95% vienveidība
3. Saglabāt izejvielas: izejvielu izmantošanas ātrums pārsniedz 85%, kas ir četras reizes lielāks nekā tradicionālajiem diviem šķidruma izsmidzināšanai
4. Augsta precizitātes kontrole ar pārklājuma biezumu: var sagatavot 20 nm līdz desmitiem mikrometru pārklājuma, precīzi kontrolējot pārklājuma biezumu
5. smalkas atomizētas daļiņas
6. Vienveidīgi atomizētas daļiņas
7. var izsmidzināt ar pārtraukumiem vai nepārtraukti
8. Ultra zema smidzināšanas plūsma
9. Nebloķēs sprauslu
10. pretkorozijas sprausla
11. Augsta precizitāte kontrolējama izsmidzināšana
